随着工业经济的发展，废气处理方法，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性有机废气也日渐增多。这些废气不仅会在大气中停留较长的时间，还会扩散和漂移到较远的地方，给环境带来严重的污染。这些废气吸入人体，直接对人体的健康产生极大的危害，工业废气的无控制排放使全球性的大气环境日益恶化。低温等离子设备因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。低温等离子废气处理设备在此情况下应运而生。
降解挥发性有机污染物(VOCs)传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧等，对于低浓度的VOCs很难实现，利用低温等离子体处理VOCs可以不受上述条件的限制，具有很大的优势。但由于等离子体是一门包含放电物理学、放电化学、化学反应工程学等基础学科之上的交叉学科。因此, 目前能成熟的掌握该技术的单位非常的少。大部分宣传采用低温等离子技术处理废气的宣传都不是真正意义上的低温等离子废气处理技术或根本达不到所要求的处理效率。